Technique de Microfabrication de photolithographie

La photolithographie est l'une du plus important et des méthodes faciles du microfabrication, et est employée pour produire les configurations détaillées dans un matériau. Dans cette méthode, une forme ou une configuration peut être repérée par l'exposition sélectrice d'un polymère sensible à la lumière au rayonnement ultraviolet.

Production de disques de silicium, photolithographie. Crédit d
Production de disques de silicium, photolithographie. Crédit d'image : Photo/Shutterstock de la Science

Procédé de photolithographie

Des matériaux de substrat tels que les silicones ou la glace sont enduits du vernis photosensible, un matériau sensible à la lumière qui détruit sa résistance ou susceptibilité à la crise par un solvant une fois exposé à la lumière.

Un photomask portant des régions opaques et transparentes dans la configuration désirée est employé pour illuminer sélecteur le vernis photosensible, laissant des régions de vernis photosensible couvertes par le photomask transparent exposé. La région opaque est souvent effectuée à partir du chrome.

En employant un vernis photosensible positif, les endroits exposés à la lumière décomposent et deviennent solubles, alors qu'un négatif résistent devient réticulé et insoluble lors de l'exposition à la lumière. Le vernis photosensible donnant droit, dans la configuration désirée, est laissé sur le substrat pendant gravure ou le dépôt des composés, obturation dans l'espace négatif autour du vernis photosensible.

Le vernis photosensible est alors enlevé par la sonication dans un solvant organique. La couche de vernis photosensible saillante peut être employée comme moulage pour produire les dispositifs ou les pochoirs microfluidic du polydimethylsiloxane.

Applications de photolithographie

Production des printeds circuit boards

La photolithographie est la plupart de méthode classique pour produire des printeds circuit boards et des microprocesseurs. Un disque de silicones enduit d'une couche d'oxyde est préparé avec du polymère de vernis photosensible et après le démontage des endroits désirés du vernis photosensible par l'exposition à la lumière, des agents chimiques sont employés pour retirer la couche d'oxyde qui ne sont pas protégés par le vernis photosensible.

Matériaux de Microfabricating

La photolithographie gagne l'attention aux matériaux de microfabricate pour un grand choix d'applications dans les sciences de la vie. À l'écaille micro, les liquides se comportent peu familier, circulant sans turbulence et se mélangeant par seule diffusion. Des pompes, les soupapes, les filtres, et les mélangeurs liquides de Microfabricated qui peuvent traiter des liquides dans cette condition exceptionnelle sont produits par la photolithographie.

Biomolécules manipulants

Des dispositifs de Microfabricated sont utilisés pour manipuler des biomolécules dans des applications génomiques, et peuvent être employés pour manipuler les cellules viables vivantes, permettant l'inspection des composantes subcellulaires. Les petites électrodes dans le dispositif produisent les champs électriques non-uniformes manipulent de grandes molécules ou cellules, aidées par la petite taille du dispositif pendant que les champs électriques dissipent rapidement au-dessus de la distance, et un à tension inférieure peut être employé pour les actionner sur une petite échelle.

Détecteurs de pression sanguine de Microfabricated

Des détecteurs de pression sanguine de Microfabricated sont actuel utilisés dans la pratique clinique courante, avec plusieurs autres types de biocapteurs entrant dans la prévalence dans le domaine. De nouveau, un avantage massif de tels dispositifs est leur taille, permettant au matériel normalement encombrant tel que des cytometers de flux d'être utilisé.

La surface plus grande au rapport de volume s'est entretenue par la taille des dispositifs microfabricated améliore la capacité de dissiper la chaleur, tient compte de l'analyse de petits volumes témoin, et fournit une plate-forme de haut-débit.

Cependant, les dispositifs microfluidic produits utilisant la photolithographie souvent ont de longs temps de développement et doivent être fabriqués en salle propre, et ainsi, l'usinage conventionnel est souvent plus d'alternative viable.

Sources

Further Reading

Last Updated: Oct 28, 2018

Michael Greenwood

Written by

Michael Greenwood

Michael graduated from Manchester Metropolitan University with a B.Sc. in Chemistry in 2014, where he majored in organic, inorganic, physical and analytical chemistry. He is currently completing a Ph.D. on the design and production of gold nanoparticles able to act as multimodal anticancer agents, being both drug delivery platforms and radiation dose enhancers.

Citations

Please use one of the following formats to cite this article in your essay, paper or report:

  • APA

    Greenwood, Michael. (2018, October 28). Technique de Microfabrication de photolithographie. News-Medical. Retrieved on August 20, 2019 from https://www.news-medical.net/life-sciences/Photolithography-Microfabrication-Technique.aspx.

  • MLA

    Greenwood, Michael. "Technique de Microfabrication de photolithographie". News-Medical. 20 August 2019. <https://www.news-medical.net/life-sciences/Photolithography-Microfabrication-Technique.aspx>.

  • Chicago

    Greenwood, Michael. "Technique de Microfabrication de photolithographie". News-Medical. https://www.news-medical.net/life-sciences/Photolithography-Microfabrication-Technique.aspx. (accessed August 20, 2019).

  • Harvard

    Greenwood, Michael. 2018. Technique de Microfabrication de photolithographie. News-Medical, viewed 20 August 2019, https://www.news-medical.net/life-sciences/Photolithography-Microfabrication-Technique.aspx.

Comments

The opinions expressed here are the views of the writer and do not necessarily reflect the views and opinions of News-Medical.Net.
Post a new comment
Post