Técnica de Microfabrication da fotolitografia

A fotolitografia é um dos métodos os mais importantes e os mais fáceis do microfabrication, e é usada para criar testes padrões detalhados em um material. Neste método, uma forma ou um teste padrão podem ser gravados com a exposição selectiva de um polímero sensível à luz à luz ultravioleta.

Produção das bolachas de silicone, fotolitografia. Crédito de imagem: Foto/Shutterstock da ciência
Produção das bolachas de silicone, fotolitografia. Crédito de imagem: Foto/Shutterstock da ciência

Processo de fotolitografia

Os materiais da carcaça tais como o silicone ou o vidro são revestidos com o fotoresistente, um material sensível à luz que perca sua resistência ou susceptibilidade ao ataque por um solvente quando expor à luz.

Um photomask que carrega regiões opacas e transparentes no teste padrão desejado é usado para iluminar selectivamente o fotoresistente, saindo de regiões de fotoresistente cobertas pelo photomask transparente expor. A região opaca é feita frequentemente do cromo.

Ao usar um fotoresistente positivo, as áreas expor à luz dividem e tornam-se solúveis, visto que um negativo resiste se torna ligado e insolúvel em cima da exposição à luz. O fotoresistente resultante, no teste padrão desejado, é deixado na carcaça durante gravura a água-forte ou o depósito dos compostos, enchimento no espaço negativo em torno do fotoresistente.

O fotoresistente é removido então pelo sonication em um solvente orgânico. A camada de fotoresistente de projecção pode ser usada como um molde para criar dispositivos ou estêncis microfluidic do polydimethylsiloxane.

Aplicações da fotolitografia

Produzindo placas de circuito impresso

A fotolitografia é o método o mais comum para produzir placas e microprocessadores de circuito impresso. Uma bolacha do silicone revestida com uma camada do óxido é preparada com polímero do fotoresistente e depois da remoção das áreas desejadas do fotoresistente com a exposição à luz, os agentes químicos são usados para remover a camada do óxido que não são protegidos pelo fotoresistente.

Materiais de Microfabricating

A fotolitografia está ganhando a atenção aos materiais do microfabricate para uma variedade de aplicações dentro das ciências da vida. Na micro escala, os líquidos comportam-se estranha, fluindo sem turbulência e misturando pela difusão apenas. As bombas, as válvulas, os filtros, e os misturadores líquidos de Microfabricated que podem segurar líquidos neste estado incomum são criados através da fotolitografia.

Biomoléculas de manipulação

Os dispositivos de Microfabricated são usados para manipular biomoléculas em aplicações da genómica, e podem ser usados para manipular pilhas viáveis vivas, permitindo o exame de componentes secundário-celulares. Os eléctrodos pequenos dentro do dispositivo criam o não-uniforme que os campos elétricos manipulam as grandes moléculas ou pilhas, ajudadas pelo tamanho pequeno do dispositivo enquanto os campos elétricos se dissipam ràpida sobre a distância, e uma tensão mais baixa pode ser usada para pô-los em uma pequena escala.

Sensores da pressão sanguínea de Microfabricated

Os sensores da pressão sanguínea de Microfabricated são usados actualmente na prática clínica rotineira, com diversos outros tipos de biosensors que entram a predominância no campo. Além disso, uma vantagem maciça de tais dispositivos é seu tamanho, permitindo que o equipamento normalmente incómodo tal como cytometers do fluxo seja usado.

A superfície maior à relação do volume conferiu pelo tamanho de dispositivos microfabricated melhora a capacidade para dissipar o calor, permite-à análise de volumes de amostra pequenos, e fornece-a uma plataforma da alto-produção.

Contudo, os dispositivos microfluidic criados usando a fotolitografia frequentemente têm tempos de revelação longos e devem ser manufacturados em um quarto desinfetado, e assim, fazer à máquina convencional é frequentemente uma opção mais viável.

Fontes

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Last Updated: Oct 28, 2018

Michael Greenwood

Written by

Michael Greenwood

Michael graduated from Manchester Metropolitan University with a B.Sc. in Chemistry in 2014, where he majored in organic, inorganic, physical and analytical chemistry. He is currently completing a Ph.D. on the design and production of gold nanoparticles able to act as multimodal anticancer agents, being both drug delivery platforms and radiation dose enhancers.

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