Técnica de Microfabrication de la fotolitografía

La fotolitografía es uno de los métodos más importantes y más fáciles de microfabrication, y se utiliza para crear configuraciones detalladas en un material. En este método, una forma o una configuración se puede grabar el ácido con la exposición selectiva de un polímero sensible a la luz a la luz ultravioleta.

Producción de las obleas de silicio, fotolitografía. Haber de imagen: Foto/Shutterstock de la ciencia
Producción de las obleas de silicio, fotolitografía. Haber de imagen: Foto/Shutterstock de la ciencia

Proceso de la fotolitografía

Los materiales del substrato tales como silicón o cristal están recubiertos con la fotoprotección, un material sensible a la luz que pierda su resistencia o susceptibilidad al ataque por un disolvente cuando está expuesto a la luz.

Un photomask que soporta regiones opacas y transparentes en la configuración deseada se utiliza para iluminar selectivamente la fotoprotección, saliendo de regiones de fotoprotección revestidas por el photomask transparente expuesto. La región opaca se hace a menudo del cromo.

Al usar una fotoprotección positiva, las áreas expuestas a la luz analizan y llegan a ser solubles, mientras que una negativa resiste llega a ser reticulada e insoluble sobre la exposición a la luz. La fotoprotección resultante, en la configuración deseada, se deja en el substrato durante la aguafuerte o la deposición de composiciones, carga química en el espacio negativo alrededor de la fotoprotección.

La fotoprotección entonces es quitada por la sonicación en un disolvente orgánico. La capa de fotoprotección que resalta se puede utilizar como molde para crear los dispositivos o los estarcidos microfluidic del polydimethylsiloxane.

Usos de la fotolitografía

Producir a placas de circuito impresas

La fotolitografía es el método más común para producir placas de circuito y los microprocesadores impresos. Un fulminante del silicón recubierto con una capa del óxido se prepara con el polímero de la fotoprotección y después del retiro de las áreas deseadas de la fotoprotección con la exposición a la luz, los agentes químicos se utilizan para quitar la capa del óxido que no son protegidos por la fotoprotección.

Materiales de Microfabricating

La fotolitografía está ganando la atención a los materiales del microfabricate para una variedad de usos dentro de las ciencias de la vida. En la escala micra, los líquidos se comportan desconocido, fluyendo sin turbulencia y mezclándose por la difusión solamente. Las bombas, las válvulas, los filtros, y los mezcladores líquidos de Microfabricated que pueden manejar los líquidos en este estado inusual se crean con fotolitografía.

Biomoléculas de manipulación

Los dispositivos de Microfabricated se utilizan para manipular biomoléculas en usos de la genómica, y se pueden utilizar para manipular las células viables vivas, permitiendo el examen de componentes subcelulares. Los pequeños electrodos dentro del dispositivo crean campos eléctricos no uniformes manipulan las moléculas o las células grandes, ayudadas por el tamaño pequeño del dispositivo mientras que los campos eléctricos se disipan rápidamente sobre distancia, y un de tensión inferior se puede utilizar para moverlo por motor en una pequeña escala.

Sensores de la presión arterial de Microfabricated

Los sensores de la presión arterial de Microfabricated se utilizan actualmente en práctica clínica rutinaria, con varios otros tipos de biosensores que entran en incidencia en el campo. Una vez más una ventaja masiva de tales dispositivos es su talla, permitiendo que el equipo normalmente incómodo tal como cytometers del flujo sea utilizado.

La superficie más grande a la índice del volumen consultó por la talla de dispositivos microfabricated perfecciona la capacidad de disipar calor, tiene en cuenta el análisis de los pequeños volúmenes de muestra, y ofrece una plataforma de la alto-producción.

Sin embargo, los dispositivos microfluidic creados usando fotolitografía tienen tiempos de revelado largos y se deben a menudo fabricar en un cuarto limpio, y así, el labrar a máquina convencional es a menudo una opción más viable.

Fuentes

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Last Updated: Oct 28, 2018

Michael Greenwood

Written by

Michael Greenwood

Michael graduated from Manchester Metropolitan University with a B.Sc. in Chemistry in 2014, where he majored in organic, inorganic, physical and analytical chemistry. He is currently completing a Ph.D. on the design and production of gold nanoparticles able to act as multimodal anticancer agents, being both drug delivery platforms and radiation dose enhancers.

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