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AcuityXR de Bruker avec les profileurs extérieurs optiques de ContourGT brisent la limite de diffraction

Bruker Corporation (NASDAQ : BRKR) annoncé aujourd'hui à l'automne 2010 de société (MRS) de recherches de matériaux contactant l'AcuityXR™, un mode extérieur optique nouveau de profileur qui combine seul, visserie de Bruker de brevet en instance et génie logiciel pour permettre à ContourGT™ choisi de non contact, profileurs 3D extérieurs optiques de briser la limite de diffraction optique et de fournir les définitions transversales qui ont été précédemment considérées impossibles à réaliser.

« AcuityXR combine des algorithmes radicalement neufs de mesure avec la technologie de visserie améliorée de métrologie dans les systèmes ContourGT-K1, X3 et X8 qui ne fournissent jamais ensemble des définitions transversales avant réalisé dans la microscopie optique »

Beaucoup d'applications de nanoscale dans les domaines de usinage de semi-conducteur, médicaux et de précision ont aujourd'hui les caractéristiques et les défectuosités extérieures avec les cotes qui limitent le dépistage ou l'identification due à la limite de diffraction optique. De telles caractéristiques et défectuosités minuscules affectent souvent directement le fonctionnement, rendement, la qualité et/ou la fabrication fournit et est d'intérêt grand aux chercheurs et au personnel de la production QA/QC de même. Les systèmes extérieurs optiques de profileur de Bruker équipés du mode neuf d'AcuityXR ont montré la définition des caractéristiques en-dessous de 130 nanomètres de largeur, qui est sans précédent dans la microscopie optique et est presque trois fois plus bonne que pour des systèmes sans cette technologie. En outre, AcuityXR active ce niveau neuf de précision tout en préservant les avantages de champ de vision large et de haute performance de Bruker de non contact, le profilage 3D extérieur optique. Avec AcuityXR, la répétabilité dimensionnelle sur les structures étroites a été montrée pour s'améliorer par plus qu'un facteur de 5x, montrant un véritable avantage de métrologie à la technologie en plus de sa capacité d'indiquer les caractéristiques particulièrement fines. AcuityXR est une capacité optionnelle qui est maintenant procurable sur les profileurs ContourGT-K1, X3 et X8 extérieurs optiques de Bruker.

« AcuityXR combine les algorithmes radicalement neufs de mesure avec la technologie de visserie améliorée de métrologie dans le ContourGT-K1, X3 et les systèmes X8 qui ne fournissent jamais ensemble des définitions transversales avant réalisé dans la microscopie optique, » a dit M. Ross Q. Smith, vice-président et directeur général du stylet de Bruker et de l'élément optique de métrologie. « Cette capacité neuve remarquable, qui est exclusivement procurable sur des systèmes de ContourGT, est un avantage grand à nos propriétaires actuels et estimatifs dans des applications de usinage de semi-conducteur, médicales et de précision où les tailles de caractéristique sont craintives tandis que le besoin de qualité augmente continuement. »

M. repère R. Munch, président des affaires de surfaces de nano de Bruker, ajouté : « Constructions d'AcuityXR sur le rendement de leader, la répétabilité et les capacités de facilité d'utilisation de la famille de produits de ContourGT. Porter cet accomplissement sans précédent pour lancer sur le marché illustre vraiment l'engagement actuel de Bruker pour fournir les systèmes de métrologie de nanosurface de la valeur la plus élevée à notre industriel et à propriétaires de R&D. »

AcuityXR et ContourGT à MME réunion d'automne de 2010

Des systèmes de ContourGT équipés d'AcuityXR seront expliqués à la cabine de surfaces de nano de Bruker (numéro 300) à MME réunion d'automne tenue au centre de congrès de Hynes à Boston, MAMANS, du 30 novembre au 2 décembre. Bruker conduira un séminaire sur AcuityXR et d'autres modes extérieurs optiques avancés de mesure mardi 30 novembre à 18h30 dans l'hôtel de Sheraton Boston, le 3ème étage, le radiophare G.

Source:

 Bruker Corporation

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